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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115980083B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211540940.0，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法是由杨青;林飞宏;王力宁;王智;庞陈雷设计研发完成，并于2022-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法，属于光学精密测量领域和晶圆检测领域。系统中布里渊散射探测模块、明场探测模块和信号处理与反馈模块相连，信号处理与反馈模块与位移模块相连；信号处理与反馈模块和成像与分析模块相连，将单次线束测量数据传输至成像与分析模块；位移模块与样品相连；布里渊散射探测模块、明场探测模块与样品相连，实现对样品信息的采集。本发明通过布里渊散射探测模块能对晶圆和非透明的芯片等样品的机械性质进行线扫描共聚焦测量，大大提高布里渊散射探测的速度；明场线阵探测和布里渊散射线阵探测的结合，可同时获取晶圆和芯片样品的几何缺陷和机械应力缺陷，拓宽缺陷检测参量。

本发明授权基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统，其特征在于，包括布里渊散射探测模块101、明场探测模块102、位移模块104、信号处理与反馈模块105和成像与分析模块106； 样品103置于位移模块104上，信号处理与反馈模块105能通过位移模块104控制样品103的移动；所述布里渊散射探测模块101通过探测样品103表面的布里渊光谱信息以获得其机械应力缺陷分布信息，明场探测模块102通过探测样品103表面的明场光强信息以获得其几何缺陷分布信息；所述信号处理与反馈模块105分别与布里渊散射探测模块101和明场探测模块102相连，用于接收采集到的探测信号并将其处理为单次线束测量数据；所述成像与分析模块106和信号处理与反馈模块105相连，用于接收、储存和成像处理所述单次线束测量数据，同时能将结果反馈给所述信号处理与反馈模块105； 所述布里渊散射探测模块101包括共同构成光学系统的布里渊散射线阵光源组件210、第三滤光片211、第二偏振分光棱镜212、第二四分之一波片213、二向色镜205、物镜206、反射镜214、滤光组件215、第二柱面镜216、虚空成像相位阵列217、第三柱面镜218、可调狭缝219、会聚透镜220和面阵相机221； 所述布里渊散射线阵光源组件210输出的平行偏振光束能依次经第三滤光片211、第二偏振分光棱镜212、第二四分之一波片213、二向色镜205、物镜206后会聚成线形光照射在样品103表面上，经样品103表面反射形成的光束能依次经物镜206、二向色镜205、第二四分之一波片213、第二偏振分光棱镜212、反射镜214、滤光组件215、第二柱面镜216后会聚成线形光入射到虚空成像相位阵列217的入射面，由所述虚空成像相位阵列217色散后再经过第三柱面镜218会聚成线形光入射到可调狭缝219上，经可调狭缝219进行空间滤波滤除杂散光后再经会聚透镜220会聚到面阵相机221上。

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