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龙图腾网获悉华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)申请的专利一种带力平衡反馈的微光学加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211601071.8，技术领域涉及：G01P15/03；该发明授权一种带力平衡反馈的微光学加速度计是由姚远;王密信;谭红宇;王晨晟;齐志强设计研发完成，并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带力平衡反馈的微光学加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带力平衡反馈的微光学加速度计，由MEMS敏感单元，光栅单元，探测单元以及多个封装用陶瓷基板组成，并通过引线键合整体封装于金属管壳之中，MEMS敏感单元由带反射镜、下金属电极的多组弹簧‑质量块结构组成，光栅单元由带上金属电极的多组三角形分布光栅组成，探测单元由三组呈三角形分布的光收发组件组成，一组光收发组件包含VCSEL激光器以及两个PD探测器芯片，多个封装用陶瓷基板将各单元按照所需间隔组装在一起，且上面分布有金属焊盘实现与外部的电气连接。本发明集成了静电力反馈功能以及多组光收发组件，该微光学加速度计能够工作在多种模式下，且有效抑制交叉轴串扰，实现超高精度的加速度测量。

本发明授权一种带力平衡反馈的微光学加速度计在权利要求书中公布了：1.一种带力平衡反馈的微光学加速度计，其特征在于，由MEMS敏感单元1、光栅单元2、探测单元3以及多个封装用陶瓷基板4组成，并通过引线键合5整体封装于金属管壳6之中； 所述MEMS敏感单元1由反射镜7、下金属电极8及对称分布的弹簧-质量块结构9组成，所述反射镜7位于所述弹簧-质量块结构9上表面中心位置的质量块17上； 所述光栅单元2由上金属电极10、多组对称分布的光栅11及光栅支撑框架12组成； 所述探测单元3由多组呈预设形状分布的光收发组件13组成，其中，多组光栅11的分布形状与多组光收发组件13的分布形状一致，对称分布的光栅11位于所述光栅单元2的中心区域，和所述MEMS敏感单元1上表面的所述反射镜7一起组成光栅干涉腔，干涉腔长能够随着所述弹簧-质量块结构9的运动而变化，每一组光收发组件13由一个激光器芯片20和两个探测器芯片21组成，且每一组光收发组件13的位置与下方呈对称分布的光栅11的位置一一对应，呈预设形状均匀分布的光栅11和与之一一对应的光收发组件13组成多组探测，以共同探测位于MEMS敏感单元1上方的反射镜7运动，以提升加速度计的交叉轴抑制比，其中，一个光栅11、一个激光器芯片20和两个探测器芯片21构成一组探测，多组探测按照预设形状分布，激光器芯片20出射的光经过光栅11到达反射镜7并返回再次经过光栅11后返回光束正好入射到两个探测器芯片21上，其中，一组光收发组件13中的激光器芯片20和两个探测器芯片21在一个平面内的； 所述封装用陶瓷基板4由带金属焊盘的下陶瓷基板14、带金属焊盘的上陶瓷基板15以及中空的厚陶瓷基板16组成； 所述MEMS敏感单元1和所述光栅单元2经过金-金键合后成为一个整体后粘接到所述带金属焊盘的下陶瓷基板14的中心区域；所述探测单元3粘接在所述带金属焊盘的上陶瓷基板15的中心区域；所述MEMS敏感单元1和所述光栅单元2整体与所述探测单元3隔开，间隔由所述中空的厚陶瓷基板16决定。

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