郑州磨料磨具磨削研究所有限公司蔡玉珺获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州磨料磨具磨削研究所有限公司申请的专利一种微波谐振腔及微波等离子体化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799793B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211508133.0，技术领域涉及：H01P7/06；该发明授权一种微波谐振腔及微波等离子体化学气相沉积装置是由蔡玉珺;赵炯;赵延军;常豪锋;梅远洋;刘洋设计研发完成，并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波谐振腔及微波等离子体化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微波谐振腔及微波等离子体化学气相沉积装置，通过在沉积室内设置凸设的顶盖，且凸设的顶盖朝向沉积台布设为V型凸台或W型凸台，可改善谐振腔内的微波电磁场，消除顶盖处的电场强度，进而使顶盖处不产生等离子体，可消除次生等离子体对金刚石膜生长的不利影响，有利于金刚石膜的沉积；而带有锥形沉积台的谐振腔可以增大托盘上的电场强度和区域，改善谐振腔内的微波电磁场，进而增大等离子体，提高微波能量利用率、增大金刚石膜的沉积面积和沉积速度。
本发明授权一种微波谐振腔及微波等离子体化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种微波谐振腔，其特征在于：包括由腔体盖和腔体底板构成的沉积室以及与沉积室上至下连通设置的同轴波导，沉积室内设有沉积台及凸设的顶盖，且凸设的顶盖朝向沉积台布设为V型凸台或W型凸台，而沉积台通过石英窗与腔体底板连接； 所述腔体盖的顶部开有用于通入反应气的进气口，而腔体底板上开有用于与真空泵连接的出气口以及用于与同轴波导连通的主孔； 所述沉积台设为锥形沉积台，且远离腔体底板侧设为短面端，靠近腔体底板侧设为长面端； 所述腔体底板的上表面及沉积台的下表面相应开有矩形沟槽，且矩形沟槽中配设有橡胶垫，石英窗夹置位于矩形沟槽中的橡胶垫内。
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