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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利绘制装置以及绘制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115729051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210902852.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权绘制装置以及绘制方法是由久野真士;青松哲纯设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本绘制装置以及绘制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种绘制装置以及绘制方法。绘制装置1具备绘制头41、第1载台21a以及第2载台21b、以及第1测距传感器5。第1测距传感器5的传感器要素51在向由一方的载台保持的基板9绘制图案的期间内，获取与由另一方的载台保持的基板9上的测定位置之间的距离。绘制头41包括获取与正在进行图案的绘制的基板9上的测定位置之间的距离的第2测距传感器。控制部10的聚焦控制部使用在绘制图案前通过第1测距传感器5从基板9获取的信息、和在向该基板9绘制图案的过程中从第2测距传感器获取得信息，控制从绘制头41射出的光的聚焦位置。

本发明授权绘制装置以及绘制方法在权利要求书中公布了：1.一种绘制装置，其通过向基板照射光来向所述基板绘制图案，所述绘制装置的特征在于，具备： 射出调制后的光的绘制头； 保持第1基板的第1基板保持部； 保持第2基板的第2基板保持部； 移动机构，其在利用从所述绘制头射出的光向由所述第1基板保持部保持的第1基板绘制图案的期间内，使所述绘制头相对于所述第1基板保持部相对移动，在利用从所述绘制头射出的光向由所述第2基板保持部保持的第2基板绘制图案的期间内，使所述绘制头相对于所述第2基板保持部相对移动； 第1测距传感器，其在向由所述第2基板保持部保持的第2基板绘制图案的期间内，与由所述第1基板保持部保持的第1基板相对置来获取与所述第1基板上的测定位置之间的距离，在向由所述第1基板保持部保持的第1基板绘制图案的期间内，与由所述第2基板保持部保持的第2基板相对置来获取与所述第2基板上的测定位置之间的距离；以及 聚焦控制部，其在绘制图案的过程中进行使从所述绘制头射出的光的聚焦位置对准要绘制所述图案的基板的表面的高度方向上的位置的控制， 所述绘制头包括： 第2测距传感器，其获取与正在进行图案的绘制的基板上的测定位置之间的距离；以及 聚焦变更部，其在连续进行绘制的期间内使用来自所述第2测距传感器的信息变更从所述绘制头射出的光的聚焦位置， 在所述绘制头进行了向由所述第1基板保持部或者所述第2基板保持部的一方保持的基板绘制图案之后、且在开始向由另一方保持的基板绘制图案之前，所述聚焦控制部使用由所述第1测距传感器获取的信息，使从所述绘制头射出的光的聚焦位置接近绘制开始时的所述基板的表面的高度方向上的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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