通快许廷格两合公司B·诺德曼获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉通快许廷格两合公司申请的专利阻抗匹配电路和等离子体供给系统和用于运行的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115398595B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180028688.2,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权阻抗匹配电路和等离子体供给系统和用于运行的方法是由B·诺德曼设计研发完成,并于2021-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻抗匹配电路和等离子体供给系统和用于运行的方法在说明书摘要公布了:一种阻抗匹配电路11、一种具有这种阻抗匹配电路的等离子体供给系统1和一种用于尤其是在具有附接到高频接头RFin上的串联电路10的这种等离子体供给系统中运行这种阻抗匹配电路的方法,其中,所述串联电路包括至少一个电抗、尤其是电容C1,C2和至少一个切换元件T1,T2,所述切换元件具有操控输入端G,操控电路12附接到所述操控输入端上,其特征在于,所述操控电路通过耦合器13附接到使能信号输入端上。如此,可以在一个或者多个切换元件中的低损耗的情况下实现少的切换时间。
本发明授权阻抗匹配电路和等离子体供给系统和用于运行的方法在权利要求书中公布了:1.一种阻抗匹配电路11,所述阻抗匹配电路具有附接到高频接头RFin上的串联电路10,其中,所述串联电路10包括至少一个电抗和至少一个切换元件T1,T2,所述切换元件具有操控输入端G,操控电路12附接到所述操控输入端上,其特征在于,所述操控电路12通过耦合器13附接到使能信号输入端enable上,所述耦合器13设计用于跨接高电压,所述高电压相对于接地大于在所述阻抗匹配电路11中出现的HF电压和或在所述至少一个切换元件T1,T2上出现的HF电压,所述操控电路12通过参考电路17附接到所述串联电路10的接头点上,所述参考电路17具有内部DC电压源、其中,所述内部DC电压源V1,V2具有各一个电容器C3,C4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通快许廷格两合公司,其通讯地址为:德国弗赖堡;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励