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铠侠股份有限公司佐藤隆获国家专利权

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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利模板、被加工构件及对准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115113496B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110865055.9,技术领域涉及:G03F9/00;该发明授权模板、被加工构件及对准方法是由佐藤隆;三木聪设计研发完成,并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

模板、被加工构件及对准方法在说明书摘要公布了:模板具备对准标记。对准标记包含第1主图案和第1辅助图案。第1主图案由第1部分和第2部分以规定的重复图案配置而成。第1辅助图案在第1主图案的端部外侧的区域以与重复图案相反的图案构成。

本发明授权模板、被加工构件及对准方法在权利要求书中公布了:1.一种模板,其具备对准标记, 所述对准标记包含:第1部分和第2部分以规定的重复图案配置而成的第1主图案;以及第1辅助图案, 所述第1部分是反射检查光的部分,所述第2部分是透射所述检查光的部分,所述第1辅助图案是在反转区域中配置反射所述检查光的第3部分而成,所述反转区域是所述第1主图案的端部外侧的区域,且在所述重复图案中为所述第2部分, 在所述第1主图案的靠近所述反转区域的所述端部处,所述第1主图案的第1部分的端部的噪声的相位相对于最邻近的所述第1辅助图案的第3部分的端部的噪声的相位反转180°。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人铠侠股份有限公司,其通讯地址为:日本东京;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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