天津威盛电子有限公司金炳宪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津威盛电子有限公司申请的专利气隙式FBAR获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115085689B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110661577.7,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权气隙式FBAR是由金炳宪;高庸熏设计研发完成,并于2021-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本气隙式FBAR在说明书摘要公布了:根据本发明的气隙式膜体声谐振器FBAR可以包括:基板,其上表面上包括气隙部;下电极,其形成在基板上;压电层,其形成在下电极上;上电极,其形成在压电层上;保护层,其形成在上电极上;以及梁结构,其从上电极的一侧以拱形延伸,以限定上电极与压电层之间的空间部,其中,梁结构的一端与压电层接触。
本发明授权气隙式FBAR在权利要求书中公布了:1.一种气隙式膜体声谐振器FBAR,其特征在于,包括: 基板,其上表面上包括气隙部; 下电极,其形成在所述基板上; 压电层,其形成在所述下电极上; 上电极,其形成在所述压电层上; 保护层,其形成在所述上电极上;以及 梁结构,其上形成有所述保护层,并且从所述上电极的一侧以拱形延伸,以限定所述上电极与所述压电层之间的空间部, 其中,所述梁结构的一端与所述压电层接触, 其中所述保护层的端部超出所述梁结构的端部预定长度。
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