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龙图腾网获悉源多可股份有限公司申请的专利天线结构以及使用其的电感耦合等离子体产生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115039196B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180010823.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权天线结构以及使用其的电感耦合等离子体产生装置是由严世勋;李润星;孙永勋;朴世洪设计研发完成，并于2021-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本天线结构以及使用其的电感耦合等离子体产生装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种天线结构，安置在等离子体产生单元外部且提供感应电场以在等离子体产生单元内部感应等离子体，天线结构包括：第一天线，沿等离子体产生单元的外表面安置且感应电场；其中冷却剂流动的第一冷却剂通道形成于第一天线内部，其中第一天线包含平行于等离子体产生单元的外壁的第一内径表面且经由第一内径表面与等离子体产生单元表面接触，其中第一天线包含界定第一冷却剂通道且平行于等离子体产生单元的外壁及第一内径表面的第一表面，且其中天线结构经由内径表面及第一表面自等离子体产生单元吸收热以防止等离子体产生单元的温度通过等离子体而升高。本发明另提供一种使用天线结构的电感耦合等离子体产生装置。

本发明授权天线结构以及使用其的电感耦合等离子体产生装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生装置，包括： 腔室，提供感应等离子体的内部空间； 天线结构，通过接收射频源在所述腔室的所述内部空间中感应等离子体，所述天线结构被安置以围绕所述腔室的外表面， 其中所述天线结构包括： 第一层天线，配置于与虚拟的中心轴垂直的第一平面上，且被安置以围绕所述腔室的所述外表面， 其中所述第一层天线由两个第一匝天线及第一匝间电容元件所组成， 其中所述第一层天线的第一最内匝天线在所述两个第一匝天线中具有较小的曲率半径，且包括第一天线段及第二天线段，所述第一天线段及所述第二天线段各自具有所述较小的曲率半径， 其中所述第一层天线的第一外匝天线在所述两个第一匝天线中具有较大的曲率半径，且包括第三天线段及第四天线段，所述第三天线段及所述第四天线段各自具有所述较大的曲率半径， 其中所述第一天线段串联电连接所述第二天线段，所述第三天线段串联电连接所述第四天线段， 其中所述第二天线段电连接于所述第一天线段与所述第三天线段之间，使得所述第一最内匝天线与所述第一外匝天线形成安置于所述第一平面上的所述第一层天线， 其中所述第一匝间电容元件位于所述第二天线段与所述第三天线段之间，且所述第一匝间电容元件串联电连接所述第二天线段与所述第三天线段，使得所述第一最内匝天线通过所述第一匝间电容元件串联电连接所述第一外匝天线； 第二层天线，配置于与虚拟的所述中心轴垂直的第二平面上，且被安置以围绕所述腔室的所述外表面，所述第二平面不同于所述第一平面， 其中所述第二层天线由两个第二匝天线及第二匝间电容元件所组成， 其中所述第二层天线的第二最内匝天线在所述两个第二匝天线中具有所述较小的曲率半径，且包括一第五天线段及一第六天线段，所述第五天线段及所述第六天线段各自具有所述较小的曲率半径， 其中所述第二层天线的第二外匝天线在所述两个第二匝天线中具有所述较大的曲率半径，且包括第七天线段及第八天线段，所述第七天线段及所述第八天线段各自具有所述较大的曲率半径， 其中所述第五天线段串联电连接所述第六天线段，所述第七天线段串联电连接所述第八天线段， 其中所述第六天线段电连接于所述第五天线段与所述第七天线段之间，使得所述第二最内匝天线与所述第二外匝天线形成安置于所述第二平面上的所述第二层天线， 其中所述第二匝间电容元件位于所述第六天线段与所述第七天线段之间，且所述第二匝间电容元件串联电连接所述第六天线段与所述第七天线段，使得所述第二最内匝天线通过所述第二匝间电容元件串联电连接所述第二外匝天线；以及 层间电容元件，位于所述第五天线段与所述第四天线段之间，被安置以串联电连接所述第五天线段与所述第四天线段，使得设置于所述第一平面上的所述第一层天线与设置于所述第二平面上的所述第二层天线串联电连接。

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