北京北方华创微电子装备有限公司宋爱军获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114927441B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210612231.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权半导体清洗设备是由宋爱军;张敬博;赵宏宇设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体清洗设备，包括承载座、第一清洗臂、第二清洗臂和驱动机构，其中：承载座用于放置晶圆；第一清洗臂具有第一喷嘴，第一清洗臂通过第一喷嘴向晶圆喷洒第一清洗介质；第二清洗臂具有第二喷嘴，第二清洗臂通过第二喷嘴向晶圆喷洒第二清洗介质；半导体清洗设备具有第一工作模式和第二工作模式，在半导体清洗设备处于第一工作模式的情况下，驱动机构的输出端移动至可驱动第一清洗臂的位置，第一喷嘴的运动轨迹至少部分位于承载座的上方；在半导体清洗设备处于第二工作模式的情况下，驱动机构的输出端移动至可驱动第二清洗臂的位置，第二喷嘴的运动轨迹至少部分位于承载座的上方。上述方案能够简化结构布局。
本发明授权半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括承载座、第一清洗臂、第二清洗臂和驱动机构，其中： 所述承载座用于放置晶圆； 所述第一清洗臂具有第一喷嘴，所述第一清洗臂通过所述第一喷嘴向所述晶圆喷洒第一清洗介质；所述第二清洗臂具有第二喷嘴，所述第二清洗臂通过所述第二喷嘴向所述晶圆喷洒第二清洗介质； 所述半导体清洗设备具有第一工作模式和第二工作模式，所述驱动机构可改变其输出端的位置而向对应的清洗臂实施驱动作用，从而向所述晶圆喷洒所需的清洗介质，在所述半导体清洗设备处于所述第一工作模式的情况下，所述驱动机构的输出端移动至可驱动所述第一清洗臂的位置，以驱动所述第一清洗臂运动，所述第一喷嘴的运动轨迹至少部分位于所述承载座的上方；在所述半导体清洗设备处于所述第二工作模式的情况下，所述驱动机构的输出端移动至可驱动所述第二清洗臂的位置，以驱动所述第二清洗臂运动，所述第二喷嘴的运动轨迹至少部分位于所述承载座的上方。
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