中国人民解放军国防科技大学肖定邦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国人民解放军国防科技大学申请的专利一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构及修调方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114894173B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210501799.7，技术领域涉及：G01C19/5684；该发明授权一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构及修调方法是由肖定邦;李青松;陈传富;路阔;吴锴;吴学忠;席翔;张勇猛设计研发完成，并于2022-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构及修调方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构及修调方法。质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构包括锚点、谐振环，以及位于锚点和谐振环之间的支撑梁，所述谐振环的环向均匀分布有凸起的质量块。本发明采用在谐振环上增加凸起的质量块的方式，实现谐振子的质量刚度解耦，提升了系统的等效振动质量，同时降低了系统的频率，能够快速实现谐振子的模态修调，最终达到提升系统灵敏度、分辨率和信噪比等目标。
本发明授权一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构及修调方法在权利要求书中公布了：1.一种质量刚度解耦环式MEMS谐振器结构，其特征在于，包括锚点、谐振环，以及位于锚点和谐振环之间的支撑梁，所述谐振环的环向均匀分布有凸起的质量块； 所述质量块的数量为8的倍数； 所述质量块为带质量的任意结构； 所述质量块在谐振环的环向均匀分布满足旋转对称条件。
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