台湾积体电路制造股份有限公司洪世玮获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利用于对结构加工的机台及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823259B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110067616.0，技术领域涉及：H01J37/30；该发明授权用于对结构加工的机台及方法是由洪世玮;李正中设计研发完成，并于2021-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对结构加工的机台及方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及用于对结构加工的机台及方法。对所述结构加工的机台包括：电子束镜筒、离子束镜筒、离子束掩模、处理器及控制器。所述电子束镜筒可对工件照射电子束以获得所述工件的电子束图像，而所述离子束镜筒可对所述工件照射离子束以获得所述工件的离子束图像，并对所述工件进行加工。所述处理器可辨识所述电子束图像及所述离子束图像，并计算获得所述工件的位置信息，控制器再依所述位置信息控制离子束镜筒、离子束掩模、所述工件的相对位置。
本发明授权用于对结构加工的机台及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于对结构进行加工的机台，其包括： 电子束镜筒，其经布置从工件的侧边以对所述工件照射电子束，以获得所述工件的侧断面电子束图像； 离子束镜筒，其经布置以对所述工件照射离子束，以获得所述工件的离子束图像并对所述工件进行加工； 离子束掩模，其设置于所述离子束镜筒与所述工件之间，用于阻挡部分所述离子束以选择性地对所述工件进行加工； 处理器，其与所述电子束镜筒及所述离子束镜筒连接，其中所述处理器包括： 图像辨识模块，其用于辨识所述电子束图像及所述离子束图像；及 计算模块，其用于处理所述侧断面电子束图像，以比对所述电子束图像的测量信息及所述电子束图像的画素信息，从而获得具有所述工件与所述离子束掩模之间的偏差距离的位置信息；及 控制器，其与所述处理器连接并依据所述位置信息以调整所述离子束镜筒、所述离子束掩模与所述工件三者之间的相对位置关系，以校正所述离子束掩模与所述工件的相对对准。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹市新竹科学工业园力行六路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励