台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司李闯获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司申请的专利衬底处理系统、装载端口和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114613694B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110135535.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理系统、装载端口和方法是由李闯;朱宏华设计研发完成，并于2021-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理系统、装载端口和方法在说明书摘要公布了：本公开涉及衬底处理系统、装载端口和方法。一种系统包括至少一个传感器和至少一个控制器。所述至少一个传感器被配置为生成与第一批衬底的第一重量相对应的第一重量信号，以及与第二批衬底的第二重量相对应的第二重量信号。所述至少一个控制器耦合到至少一个传感器以接收第一重量信号和第二重量信号。所述至少一个控制器被配置为将所述第一重量与所述第二重量之间的重量差转换为各自具有预定重量的衬底的数量。所述至少一个控制器还被配置为基于转换后的衬底的数量来控制处理设备以同时旋转第一批衬底和第二批衬底。
本发明授权衬底处理系统、装载端口和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆处理的系统，包括： 至少一个传感器，被配置为生成： 第一重量信号，对应于第一批衬底的第一重量，以及 第二重量信号，对应于第二批衬底的第二重量， 至少一个控制器，耦合到所述至少一个传感器以接收所述第一重量信号和所述第二重量信号，所述至少一个控制器被配置为： 将所述第一重量与所述第二重量之间的重量差转换为各自具有预定重量的衬底的数量， 生成指示所述第一重量是比所述第二重量更重还是更轻的指示符，以及 基于所述指示符和所述转换后的衬底的数量，控制处理设备以同时旋转所述第一批衬底和所述第二批衬底。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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