三安日本科技株式会社熊谷浩一获国家专利权
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龙图腾网获悉三安日本科技株式会社申请的专利弹性表面波装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114257200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110774081.0，技术领域涉及：H03H3/08；该发明授权弹性表面波装置的制造方法是由熊谷浩一;中村博文;门川裕设计研发完成，并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性表面波装置的制造方法在说明书摘要公布了：一种弹性表面波装置的制造方法，包含：在压电基板上形成含有激发弹性表面波的IDT电极及数个立体布线用焊垫的金属图案的制程；在形成有IDT电极的区域及形成立体布线用焊垫的区域的至少一部分以外的区域，形成支持层的制程；在除了形成有数个立体布线用焊垫的区域的至少一部分之外的区域中，在支撑层上形成覆盖层的制程；及使用掩膜，在由数个立体布线用焊垫、支持层及覆盖层所部分地包围的空间内填充立体布线用金属，且在立体布线用焊垫中，弹性表面波装置的外部连接用焊垫的开口比弹性表面波装置的内部布线用焊垫的开口大，借此，可制造其布线层数比以往更多，提高布线设计自由度，而且借由降低接地布线的阻抗，而特性稳定的WLP类型弹性表面波装置。
本发明授权弹性表面波装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种弹性表面波装置的制造方法，其特征在于： 所述弹性表面波装置的制造方法包含： 形成金属图案的制程：在压电基板上形成含有激发弹性表面波的IDT电极及数个立体布线用焊垫的金属图案； 形成支持层的制程：在形成有所述IDT电极的区域以外的区域，形成支持层； 形成覆盖层的制程：在所述支持层上，隔着一个间隙覆盖所述IDT电极来形成覆盖层； 露出制程：使所述数个立体布线用焊垫露出； 在所述立体布线用焊垫上形成UBM层； 填充立体布线用金属的制程：使用掩膜，在所述露出制程中所形成的露出所述数个立体布线用焊垫的空间内填充立体布线用金属，且该掩膜在所述数个立体布线用焊垫中，位在所述弹性表面波装置的外部连接用焊垫上的开口比位在所述弹性表面波装置的内部布线用焊垫上的开口大，位在所述内部布线用焊垫上的开口比经所述露出制程后、在用于内部布线的焊垫上形成的覆盖层开口小。
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