上海衍梓智能科技有限公司郑国获国家专利权
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龙图腾网获悉上海衍梓智能科技有限公司申请的专利一种半导体高温处理设备用气体降温装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224139408U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423265514.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种半导体高温处理设备用气体降温装置是由郑国;杨正平设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体高温处理设备用气体降温装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体高温处理设备用气体降温装置。前述降温装置装设在半导体高温处理设备的排气管道中。降温装置包括通过螺丝装设在排气管道出气端处的法兰件、以及固定安装在法兰件内的冷却结构。所述冷却结构包括若干块冷却片、固定件、贴壁绕设在若干块冷却片之间的冷却管路、开设在法兰件上的进液口和出液口。本实用新型将冷却介质流动散热和冷却片传热降温相结合,使得高温气体通过时,先经流动的冷却介质带走一部分热量后,继续经过冷却片进行传热降温,得到较好的降温效果,整个降温装置无需缠绕过多的冷却水管,而是集中于一段通道进行冷却,结构简单,占用空间小。
本实用新型一种半导体高温处理设备用气体降温装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体高温处理设备用气体降温装置,其装设在半导体高温处理设备的排气管道中;其特征在于,所述降温装置包括: 法兰件1;以及 固定安装在所述法兰件1内的冷却结构,其包括若干块冷却片2、固定件3、贴壁绕设在若干块冷却片2之间的冷却管路4、开设在法兰件1上的进液口5和出液口6。
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