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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆检测运输托架及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799154B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211576065.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆检测运输托架及方法是由陆磊;陶明生;王雷雷;刘大威设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测运输托架及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆检测运输托架及方法，包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿；在两侧的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间；晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器，传感器与晶圆夹持空间内的晶圆一一对应；传感器包括信号发射端和信号接收端，信号发射端和信号接收端分别设置在晶圆夹持空间内的晶圆的两侧，信号发射端朝对应的信号接收端发射信号，信号接收端接收来自对应的信号发射端发射的信号；传感器连接有用以将传感器信号进行处理和传输的通讯模块。通过本发明实现晶圆运输过程中实时检测晶圆的状态，可实现整合半导体湿法设备工艺，减少节拍时间，提高吞吐量。

本发明授权一种晶圆检测运输托架及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测运输托架，其特征在于，包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿；在两侧所述的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间；所述晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器，所述传感器与晶圆夹持空间内的晶圆一一对应；所述传感器包括信号发射端和信号接收端，所述信号发射端和信号接收端分别设置在晶圆夹持空间内的晶圆的两侧，所述信号发射端朝对应的信号接收端发射信号，所述信号接收端接收来自对应的信号发射端发射的信号；所述传感器连接有用以将传感器信号进行处理和传输的通讯模块； 所述U型托齿包括第一托齿、第二托齿，第一托齿和第二托齿对应同一晶圆设有同圆心设置的弧形托槽，第一托齿的弧形托槽和第二托齿的弧形托槽一一对应； 第一托齿和第二托齿的上端面呈圆弧状，第一托齿和第二托齿的上端面的圆弧的半径小于晶圆的半径，弧形托槽的弧形半径大于晶圆的半径； 第一托齿和第二托齿之间的距离大于20mm，所述第一托齿的宽度大于所述第二托齿的宽度，所述第一托齿的宽度为5-6mm，所述第二托齿的宽度为4.5mm-5mm； 所述第一托齿的高度高于第二托齿的高度，所述传感器的感应区所在高度高于所述第一托齿对应弧形托槽的晶圆夹持位置，且在夹持晶圆时与晶圆有重叠区域，以实现晶圆检测； 同一U型托齿的所述第一托齿和第二托齿之间设有U型槽，所述第一托齿的弧形托槽的槽底高于U型槽的一侧，第二托齿的弧形托槽的槽底高于U型槽的另外一侧；晶圆放置在弧形托槽内时晶圆的边缘和U型槽的槽底之间形成间隙； 所述底部托齿的上端设有若干等距直线分布的齿槽，所述齿槽和晶圆一一对应，所述齿槽支撑在晶圆的底部中间； 所述传感器设置在晶圆夹持空间的两侧，晶圆夹持空间两侧的传感器交替设置； 所述底板上端面靠近底板的两侧分别设有用以U型托齿安装的第一安装槽，所述U型托齿安装在第一安装槽内；所述底板的上端在两个第一安装槽的中间还设有用以底部托齿安装的第二安装槽，底部托齿安装在第二安装槽内； 所述U型托齿靠近底板的边缘一侧还设有用以传感器安装的传感器固定板，所述传感器安装固定在固定板上； 所述传感器固定板上端对应信号发射端和信号接收端之间的位置还设有槽口，所述传感器的信号发射端和信号接收端位于槽口的两侧；所述槽口的底部与晶圆边缘之间不接触； 槽口的宽度大于2mm。

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