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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121678573B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610194443.1，技术领域涉及：G01N21/31；该发明授权一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法是由张南南;郝美琪设计研发完成，并于2026-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法，涉及半导体气体检测领域，气路单元，设有总进气口、第一支路、第二支路及用于导通或者关闭所述第一支路或第二支路的阀模块；第一腔室，两侧相对设置有第一宽带光源和第一多通道光电探测器，第一多通道光电探测器的多个通道分别配置不同中心波长的滤光片；第二腔室的两侧相对设有多个第二光电探测器、多个目标光源及位移平台，多个目标光源安装于位移平台上并能够相对所述第二光电探测器移动；控制模块，与阀模块、第一多通道光电探测器、位移平台及各目标光源信号连接。采用上述方案，在保证检测精度的同时兼顾检测效率，还能够在复杂气体流场环境下实现更可靠的实时终点判定。

本发明授权一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体腔室清洁的多区域实时终点检测系统，其特征在于，包括： 气路单元，设有总进气口、第一支路、第二支路及用于导通或者关闭所述第一支路或第二支路的阀模块； 第一腔室，与所述第一支路连通，所述第一腔室的两侧相对设置有第一宽带光源和第一多通道光电探测器，所述第一多通道光电探测器的多个通道分别配置不同中心波长的滤光片； 第二腔室，与所述第二支路连通，所述第二腔室内的两侧相对设有多个第二光电探测器、多个目标光源及位移平台，多个所述目标光源安装于所述位移平台上并能够相对所述第二光电探测器移动； 控制模块，与所述阀模块、所述第一多通道光电探测器、所述位移平台及各所述目标光源信号连接； 其中，所述位移平台包括目标工作位置，任一所述目标光源能够在所述位移平台上移动至所述目标工作位置并与所述第二光电探测器光学对准，以形成测量光路，且多个目标光源能够与多个所述第二光电探测器配合以形成分布均匀的多区域检测通道； 所述位移平台包括基座和设置于所述基座上的导轨网络，所述目标工作位置位于所述导轨网络上，所述导轨网络由多条线性导轨交错连接构成并形成可供所述目标光源移动至所述目标工作位置的多个位移通路，所述目标光源可移动地设置在所述导轨网络上； 所述目标光源为具有相同的中心波长的窄波段光源组，所述窄波段光源组包括多个沿垂直于所述基座方向均匀分布的探测光源。

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