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龙图腾网获悉东莞市搏信智能控制技术有限公司申请的专利一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120760612B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511152292.5，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光学测量领域，尤其是涉及一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法，其包括光谱数据预处理、光谱稳定性评价、算法误差验证、位移‑波长标定、出射角度‑波长标定等步骤，通过获取暗电流噪声信号等进行归一化处理消除噪声，利用特定区域滤光片评价光谱平坦性及稳定性，通过奇偶分组法计算算法的准确度和精密度等，还涉及一种光谱共焦测厚系统，存储标定的关系用于实时厚度计算。本申请达到了消除光源调制、暗噪声及光路串扰噪声，准确评价光谱稳定性，精确验证算法误差，实现位移‑波长和出射角度‑波长的精确标定，进而实现精确测厚的技术效果。

本发明授权一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法在权利要求书中公布了：1.一种新型单个光谱共焦传感器精确测厚标定与评价方法，其特征在于，包括以下步骤： 光谱数据预处理：通过无光照下获取系统暗电流噪声信号dark0和光源打开时探头被黑板遮挡时获取包含暗电流与镜片反射噪声信号dark1，利用光源输入信号λ0=K*λ+dark0，λ为输入探头的光源光谱，及探测信号λ1=S0+dark1进行归一化处理，得到归一化信号λ1-dark1λ0-dark0，消除光源调制、暗噪声及光路串扰噪声； 光谱稳定性评价：通过PD探测器上2×2区域滤光片，对应的中心波长为420nm、450nm、600nm、680nm，带宽为5nm，强度值为I1-I4，计算R1=I2I1、K1=I3I2、R2=I3I4、K2=I4I1，以R1、R2、K1、K2评价420-680nm波段光谱平坦性及稳定性，其中R1表征蓝光激发光源的光谱抖动； 算法误差验证：通过压电陶瓷步进位移采集N×M组光谱数据，对应步距STEP，利用奇偶分组法构造相邻位移直线，计算波长提取算法的位移偏差期望均方根RMSμ0及标准差均方根RMSΔ，以RMSμ0评价算法准确度、RMSΔ评价精密度，并以最小步距STEPmin作为系统极限分辨率； 位移-波长标定：对奇偶分组数据分别进行多项式拟合得S1λ、S2λ，通过迭代修正权重k1、k2及线性项C=a*λ+b，使残差δ=∑∆j趋近零，输出最终标定关系Sλ=k1*S1λ+k2*S2λ+C； 出射角度-波长标定：将厚度H已知的基准板垂直探头光轴连续移动，采集不同位置的上下表面波长λ1、λ2及位移差Sλ2-Sλ1，结合Sellmeier方程nλ2反演出射角度θλ2，并通过交替拟合修正获得θ-λ关系。

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