杭州富芯半导体有限公司赵晶晶获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利晶圆盒搬运方法、电子设备和可读存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119852221B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411873800.4,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权晶圆盒搬运方法、电子设备和可读存储介质是由赵晶晶;刘志刚;邓海斌;朱豹设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒搬运方法、电子设备和可读存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆盒搬运方法、电子设备和可读存储介质,该方法包括:获取各个晶圆盒的当前状态信息;根据各个晶圆盒的当前状态信息以及第一预设晶圆盒调取规则,确定第一目标调取晶圆盒;获取第一目标调取晶圆盒所在区域内的各个机台的当前状态信息;根据各个机台的当前状态信息以及预设机台选取规则,确定目标搬运机台;根据第一目标调取晶圆盒的当前位置信息以及目标搬运机台的位置信息,控制自动搬运系统将第一目标调取晶圆盒搬运至目标搬运机台,并控制目标搬运机台不对第一目标调取晶圆盒实施锁定的动作。本发明可以实现晶圆盒的自动搬运,有效节省人力,提高搬运效率以及减少人为失误的可能性。
本发明授权晶圆盒搬运方法、电子设备和可读存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒搬运方法,其特征在于,包括: 获取各个晶圆盒的当前状态信息; 根据各个所述晶圆盒的当前状态信息以及第一预设晶圆盒调取规则,确定第一目标调取晶圆盒; 获取所述第一目标调取晶圆盒所在区域内的各个机台的当前状态信息; 根据各个所述机台的当前状态信息以及预设机台选取规则,确定目标搬运机台; 根据所述第一目标调取晶圆盒的当前位置信息以及所述目标搬运机台的位置信息,控制自动搬运系统将所述第一目标调取晶圆盒搬运至所述目标搬运机台,并控制所述目标搬运机台不对所述第一目标调取晶圆盒实施锁定的动作; 所述根据各个所述晶圆盒的当前状态信息以及第一预设晶圆盒调取规则,确定第一目标调取晶圆盒,包括: 根据各个所述晶圆盒的当前状态信息以及第一预设可调取晶圆盒状态定义规则,确定出所有的处于不可使用状态下的第一可调取晶圆盒; 将满足第一预设条件的所述第一可调取晶圆盒作为所述第一目标调取晶圆盒,所述第一预设条件包括盒内的晶圆被标记为异常、盒内的晶圆数量最多以及最先由可使用状态转变为不可使用状态中的至少一种; 所述根据各个所述机台的当前状态信息以及预设机台选取规则,确定目标搬运机台,包括: 根据各个所述机台的当前状态信息以及预设可搬运机台状态定义规则,确定出所有的处于非跑货状态下的可搬运机台; 将满足第二预设条件的所述可搬运机台作为所述目标搬运机台,所述第二预设条件包括处于空闲阶段、第一搬运路径最短以及最先由跑货状态转变为非跑货状态中的至少一种。
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