张江国家实验室梁洪涛获国家专利权
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龙图腾网获悉张江国家实验室申请的专利一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118296345B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311568419.2,技术领域涉及:G06F18/213;该发明授权一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质是由梁洪涛;喻虹;王成龙设计研发完成,并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质,涉及通信技术领域,该方法包括:获取待测量物体的散射图;待测量物体的散射图是X射线经待测量物体被散射后形成的;从待测量物体的散射图中提取待测量物体的特征信号;基于待测量物体的特征信号,通过目标模型确定待测量物体的关键尺寸;其中,目标模型是通过仿真样本训练出初始模型,再经测量样本对初始模型再次训练后得到的。本申请实施例中,通过仿真样本训练初始模型,可以得到泛化能力较好的基础模型;再利用待测量物体对初始模型再次进行训练,得到目标模型,能够有效改善由于测量系统的随机干扰带来的预测偏差的问题。
本发明授权一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种关键尺寸的测量方法,其特征在于,包括: 获取待测量物体的散射图;所述待测量物体的散射图是小角X射线散射以不同方位角和不同入射角经所述待测量物体被散射后形成的,或者,所述待测量物体的散射图是小角X射线以同一方位角和不同入射角经所述待测量物体被散射后形成的; 从所述待测量物体的散射图中提取所述待测量物体的特征信号; 基于所述待测量物体的特征信号,通过目标模型确定所述待测量物体的关键尺寸;其中,所述目标模型是通过仿真样本训练出初始模型,再经测量样本对所述初始模型再次训练后得到的; 所述目标模型是通过以下方式训练得到的: 针对任一仿真样本,将所述仿真样本的特征信号作为输入,所述仿真样本的关键尺寸作为输出,训练得到初始模型;所述仿真样本的特征信号是基于所述仿真样本的散射图中散射信号的分布特征、所述仿真样本的关键尺寸与所述仿真样本的散射图的相关性得到的; 针对任一测量样本,将所述测量样本的特征信号输入所述初始模型,得到所述测量样本的预测关键尺寸;基于所述预测关键尺寸,确定所述预测关键尺寸对应的预测特征信号;通过所述测量样本的特征信号与所述预测特征信号之间的损失值,调整所述初始模型,直至满足训练终止条件;仿真样本与测量样本的测量参数保持一致,测量样本的结构确定仿真样本的个数;所述测量样本的特征信号是将所述测量样本的散射图输入至特征提取模型得到的;所述特征提取模型是将仿真样本的散射图和关键尺寸作为输入,仿真样本的特征信号作为输出进行模型训练得到的。
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