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龙图腾网获悉飞潮(上海)新材料股份有限公司申请的专利半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118255488B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410475201.0，技术领域涉及：C02F9/00；该发明授权半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺是由朱昌礼;何向阳;姜静;付童元;张立勇;刘红霞设计研发完成，并于2024-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺在说明书摘要公布了：本发明提供了半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺，在不添加任何化学试剂的条件下，依次经动态陶瓷膜过滤系统和集束式过滤器进行固液分离处理，产生的清液经检测合格后经UF系统和或RO系统纯化实现半导体制程废水回收利用，同时提供了一种用于该工艺的陶瓷膜的制备方法，由于该陶瓷膜因含有氧化钛而具有亲水属性，因含有氧化锆而具有高弯折硬度，耐磨系数高，表面涂层改性耐污染、不易堵塞，过滤精度高。该工艺直接进行固液分离，同时回收固液两相，回收的半导体微细颗粒，不含其他杂质和化学药剂残留物，直接在集束式过滤器内原位集中气压脱水干化装袋，利于回收利用并方便运送，废水回收率高于97%，半导体微细颗粒回收率高于98%。

本发明授权半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺在权利要求书中公布了：1.半导体制程中晶圆切磨抛废水资源化综合回收利用工艺，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：将半导体制程中晶圆切、磨、抛废水经过动态陶瓷膜过滤系统进行固液分离处理，产生的清液经检测合格后进入清水罐待处理，若未合格则再次进行固液分离处理，产生的浓缩液进入浓缩液罐； 步骤2：将步骤1中的浓缩液通入集束式过滤器进行二次固液分离处理，微细颗粒沉积在集束式过滤器的过滤元件表面形成滤饼层，透过液则回流至动态陶瓷膜过滤系统再次循环处理； 步骤3：多次循环处理后，将动态陶瓷膜过滤系统产生的浓缩液全部排入集束式过滤器进行最终固液分离处理，并对滤饼层进行原位脱水干燥处理，直至滤饼层含水率低于30%，进行自动排渣工作，将微细颗粒回收； 步骤4：将步骤1清水罐的水经过超滤系统和或反渗透系统进行纯化处理，得到高纯水收集待用，所述反渗透系统产生的浓水回流至动态陶瓷膜过滤系统循环处理，最终实现固液分离； 其中，所述动态陶瓷膜过滤系统的过滤元件为陶瓷膜，所述陶瓷膜的分离层中因含有氧化钛而具有亲水属性，因含有氧化锆而具有高弯折硬度； 所述集束式过滤器的过滤元件表面覆有纳米纤维膜，以提高集束式过滤器的固液分离效率，降低滤饼层的含水率。

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