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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利微细结构加工治具及微细图形加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117377372B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210744062.8，技术领域涉及：H10N10/01；该发明授权微细结构加工治具及微细图形加工方法是由王诗男设计研发完成，并于2022-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本微细结构加工治具及微细图形加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种微细结构加工治具，其利用与基板相对固定的下掩膜板定义用于形成两类以上材料组成的微细图形的开口，通过于其上叠置的上掩膜板决定在基板上形成其中一类材料的微细图形，使得微细图形间的对准误差主要由第一个掩膜板开口的加工精度决定，有效提高各类材料的微细图形间的对准精度，有利于图形的微细化，提升器件的性能。本发明有效克服了常规硬掩模工艺的局限性，可以利用硬掩模技术实现两类以上材料的微细图形加工，使用前述的微细结构加工治具执行微细结构加工方法，所述加工方法操作简单、两类以上材料的微细图形间对准精度得到提升，从而可提高微细加工精度以及工艺重复性，通过本发明可以获得期望尺寸的微细图形，具有广泛的应用场景和应用前景。

本发明授权微细结构加工治具及微细图形加工方法在权利要求书中公布了：1.一种微细结构加工治具，其特征在于，包括： 基板承载板，所述基板承载板的主面设置有用于容纳基板的基板容纳部、两个以上的第一定位孔和两个以上的第二定位孔； 下掩膜板，设置有贯穿第一主面和第二主面的第一类图形通孔和第二类图形通孔，与所述第一定位孔对应设置的第一对准通孔，以及与所述第二定位孔对应设置的第二对准通孔，所述第一类图形通孔和所述第二类图形通孔设置有与待加工形成的微细结构对应的图形； 第一上掩膜板，设置有贯穿其第一主面和第二主面的第一类图形开口、第三对准通孔，以及第四对准通孔，所述第一类图形开口与所述第一类图形通孔对应设置，所述第三对准通孔与所述第一定位孔对应设置，所述第四对准通孔与所述第二定位孔对应设置； 第二上掩膜板，设置有贯穿其第一主面和第二主面的第二图形开口、第五对准通孔，以及第六对准通孔，所述第二图形开口与所述第二类图形通孔对应设置，所述第五对准通孔与所述第一定位孔对应设置，所述第六对准通孔与所述第二定位孔对应设置； 第一定位销和第二定位销，所述第一定位销和所述第二定位销配置以将所述基板承载板、所述下掩膜板与所述第一上掩膜板或第二上掩膜板叠置使用时将所述第一定位销穿过所述第五对准通孔或第三对准通孔、所述第一对准通孔而嵌入所述第一定位孔，将所述第二定位销穿过所述第六对准通孔或所述第四对准通孔、所述第二对准通孔而嵌入所述第二定位孔，致使所述第一上掩膜板相对于所述基板承载板中心对准且通过所述第一上掩膜板的第一类图形开口显露出所述第一类图形通孔，或者致使所述第二上掩膜板相对于所述基板承载板中心对准且通过所述第二上掩膜板的第二类图形开口显露出所述第二类图形通孔。

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