苏州中熙精密电机有限公司贺可欣获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中熙精密电机有限公司申请的专利一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121551818B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610094421.8,技术领域涉及:B23K26/14;该发明授权一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备是由贺可欣;贺小华设计研发完成,并于2026-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体加工领域,尤其涉及一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备。要解决的问题是:激光切割产生的烟气与细微颗粒污染晶圆,导致其出现切割错位,同时镜头也同样会出现被污染,难以检修。技术方案如下:一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备,包括有箱体;箱体内侧设置有用于放置半导体晶圆的放置架;箱体上安装有三维移动组件;三维移动组件上连接有激光切割器;激光切割器内部设置有镜头;本发明实现了通过在镜头侧面提供稳定的氮气气流,实现对镜头降温的同时,可避免气流影响光束穿过镜头,有效确保激光切割的稳定性;通过气流通道流动的氮气将可能渗入的烟气快速带走,进而实现气帘作用,避免烟气渗入。
本发明授权一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备在权利要求书中公布了:1.一种具有镜头防护功能的半导体晶圆智能加工设备,包括有箱体1;箱体1内侧设置有用于放置半导体晶圆的放置架2;箱体1上安装有三维移动组件;三维移动组件上连接有激光切割器5;激光切割器5内部设置有镜头6;其特征在于,还包括有防护箱101;三维移动组件上安装有用于保护镜头6的防护箱101;防护箱101下侧安装有检测相机102;箱体1外侧设置有风机109;风机109进风口除连接有第一抽尘管110;第一抽尘管110上安装有第二阀门111;防护箱101下侧沿激光切割器5四周开设有若干气孔,且气孔与第一抽尘管110连通;激光切割器5上安装有用于对镜头6进行降温保护的降温组件;降温组件与防护箱101连接; 降温组件包括有固定架103、安装架104、进气管105、抽气管106和第一阀门107;防护箱101上活动连接有用于固定镜头6的固定架103;激光切割器5上连接有安装架104,且镜头6安装在安装架104内侧;安装架104上连通有用于氮气进入的进气管105,进气管105外接氮气存储罐;安装架104上连接有抽气管106,且抽气管106与集中管108连通;抽气管106上安装有第一阀门107; 还包括有清理管201、第二抽尘管202和第三阀门203;激光切割器5左侧连通有清理管201;清理管201上连接有第二抽尘管202;第二抽尘管202与集中管108连通;第二抽尘管202上安装有第三阀门203。
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