肖特股份有限公司T·泽特尔获国家专利权
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龙图腾网获悉肖特股份有限公司申请的专利气密封闭的透明的凹腔及其封壳获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114945534B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180009563.5,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权气密封闭的透明的凹腔及其封壳是由T·泽特尔;A·马塔尼恩;J·U·托马斯;R·海特乐;小根泽裕设计研发完成,并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本气密封闭的透明的凹腔及其封壳在说明书摘要公布了:提出一种方法,该方法用于提供多个气密密封的封壳,其中由每个封壳形成凹腔,凹腔通过封壳的侧面环绕的边缘、下侧和上侧包围,并且其中凹腔尤其构造成容纳腔,容纳腔用于接收电子电路、传感器或MEMS,所述方法具有以下步骤:提供至少两个基板,其中至少其中一个基板由透明的材料构成并且是透明的基板,其中至少两个基板直接紧挨或叠置地布置,并且其中由至少一个透明的基板形成待密封的凹腔的相应封壳的相应边缘和相应的上侧,并且其中由第二基板形成相应封壳的相应的下侧,并且其中在至少两个基板之间的接触面处分别形成接触面,使得每个封壳具有至少一个接触面;通过沿着每个封壳的接触面接合至少两个基板气密密封地封闭凹腔;借助切割或分离步骤分开相应的封壳,其中在该方法中使用粒子束,以便借助粒子束从透明的基板中剥蚀性地剥除材料。
本发明授权气密封闭的透明的凹腔及其封壳在权利要求书中公布了:1.气密封闭的封壳1,所述封壳包括: 基底基板3和覆盖基板5,所述基底基板和覆盖基板形成所述封壳的至少一部分, 由所述封壳包围的至少一个功能区域12、13、13a, 其中至少所述覆盖基板包括玻璃状的材料, 其中所述封壳的至少两个基板借助至少一个激光键合线8接合成气密闭合的封壳, a和b中之一: a所述覆盖基板一件式地限定了所述气密封闭的封壳的凹腔的侧面环绕的边缘和所述凹腔的上侧,并且所述基底基板与所述覆盖基板借助所述至少一个激光键合线气密地接合,使得所述气密封闭的封壳仅由所述至少两个基板中的两个基板形成,所述气密封闭的封壳还包括侧面环绕的棱边,该侧面环绕的棱边具有相对于所述基底基板的表面的垂线的侧翼角并且具有侧翼,所述侧翼包括上区段和下区段,所述上区段和所述下区段相对于彼此并且相对于与所述基底基板垂直的平面成角度,从而形成所述侧翼角,所述侧翼角包括顶点,所述上区段位于所述顶点的上方,所述下区段位于所述顶点的下方,所述侧翼的所述上区段和所述侧翼的所述下区段在所述顶点处彼此接触,所述覆盖基板而不是所述基底基板限定了所述上区段,所述覆盖基板部分地和所述基底基板部分地限定了所述下区段;或 b所述气密封闭的封壳的侧面环绕的棱边具有相对于所述基底基板的表面的垂线的侧翼角,所述侧翼角相对于所述基底基板的表面的垂线在10度至45度之间,所述气密封闭的封壳还包括中间基板,其中所述气密封闭的封壳的所述侧面环绕的棱边具有侧翼,所述侧翼包括上区段和下区段,所述上区段和所述下区段相对于彼此并且相对于与所述基底基板垂直的平面成角度,所述覆盖基板部分地和所述中间基板部分地限定了所述上区段,所述中间基板部分地和所述基底基板部分地限定了所述下区段,所述中间基板包括上部分和下部分,所述侧翼的所述上区段和所述下区段相对于彼此成角度,从而形成所述侧翼角,所述侧翼角包括顶点,所述上区段位于所述顶点的上方,所述下区段位于所述顶点的下方,使得所述中间基板的所述上部分位于所述顶点的上方,所述中间基板的所述下部分位于所述顶点的下方,所述侧翼的所述上区段和所述侧翼的所述下区段在所述顶点处彼此接触。
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