中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))柳月波获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利耗尽电压获取方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114300370B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111367378.1,技术领域涉及:H10D30/01;该发明授权耗尽电压获取方法是由柳月波;赖灿雄;杨少华;路国光设计研发完成,并于2021-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本耗尽电压获取方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种耗尽电压获取方法,耗尽电压获取方法用于获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,耗尽电压获取方法包括:获取半导体器件的电容‑反向偏置电压特性曲线;获取电容‑反向偏置电压特性曲线中的电容对反向偏置电压的二阶微分,并得到半导体器件的二阶微分特性曲线;根据半导体器件的二阶微分特性曲线,获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,此方法简单直观,可以快速获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,方便研发人员使用此方法进行快速试验,加快研发进展,提升企业研发竞争力。
本发明授权耗尽电压获取方法在权利要求书中公布了:1.一种耗尽电压获取方法,其特征在于,所述耗尽电压获取方法用于获取半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压,所述耗尽电压获取方法包括: 获取所述半导体器件的电容-反向偏置电压特性曲线; 获取所述电容-反向偏置电压特性曲线中的电容对反向偏置电压的二阶微分,并得到所述半导体器件的二阶微分特性曲线; 根据所述半导体器件的二阶微分特性曲线,获取所述半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压; 所述根据所述半导体器件的二阶微分特性曲线,获取所述半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压包括:建立二维坐标系,所述二维坐标系的横坐标为反向偏置电压,所述二阶微分特性曲线具有波峰,且所述二阶微分特性曲线与所述二维坐标系的横坐标具有多个交点,所述交点位于所述波峰相对的两侧;所述波峰邻近所述二维坐标系原点一侧的所述交点的横坐标值即为获取所述半导体器件中二维电子气沟道内电子耗尽时的耗尽电压。
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