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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置及系统、基板处理装置及系统的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113451097B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110268824.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置及系统、基板处理装置及系统的控制方法是由辻本宏;田中一光设计研发完成，并于2021-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及系统、基板处理装置及系统的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置及系统、基板处理装置及系统的控制方法。基板处理装置具备：基板载置台，其用于载置基板；第一高频电源，其将第一频率的第一高频电力输出至所述基板载置台；第二高频电源，其将比所述第一频率低的第二频率的第二高频电力输出至所述基板载置台；以及控制部，其控制所述第一高频电源，其中，所述第一高频电源具备反射波检测器，该反射波检测器检测从所述基板载置台输入的反射波，所述控制部根据处理内容来决定设定值，控制所述第一高频电源以使有效功率成为所述设定值，所述有效功率是从所述第一高频电源的输出功率减去所述反射波检测器检测到的所述反射波的功率所得到的差。

本发明授权基板处理装置及系统、基板处理装置及系统的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其进行与其它基板处理装置相同的处理，所述基板处理装置具备： 基板载置台，其用于载置基板； 第一高频电源，其将第一频率的第一高频电力输出至所述基板载置台； 第二高频电源，其将比所述第一频率低的第二频率的第二高频电力输出至所述基板载置台； 匹配电路，其使所述第一高频电源的输出阻抗与检测到的负载侧的阻抗匹配；以及 控制部，其控制所述第一高频电源， 其中，所述第一高频电源具备反射波检测器，该反射波检测器检测从所述基板载置台输入的反射波， 所述控制部根据处理内容来决定设定值，控制所述第一高频电源以使有效功率成为所述设定值，所述有效功率是从所述第一高频电源的输出功率减去所述反射波检测器检测到的所述反射波的功率所得到的差， 所述控制部通过对在同时供给所述第一高频电力和所述第二高频电力时的以下范围内的所述反射波的功率进行积分来计算所述有效功率，所述范围为从自所述第一频率减去第三频率所得到的频率起至将所述第三频率与所述第一频率相加所得到的频率为止的范围，所述第三频率为所述第二频率的整数倍， 所述基板处理装置的反射波中的互调失真不同于所述其它基板处理装置的反射波中的互调失真，以及 所述控制部被配置为进行控制以使所述基板处理装置的有效功率与所述其它基板处理装置的有效功率相等。

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