北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种激光光路系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224097187U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520477885.8,技术领域涉及:H01S3/00;该实用新型一种激光光路系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光光路系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种激光光路系统,涉及半导体器件制造技术领域,为解决现有激光退火工艺中所采用的激光光路系统,会使较多反射激光反射回激光源的问题而设计。该激光光路系统包括激光源、光学组件和反射光减弱镜片,其中,光学组件用于对激光源射出的激光进行整形;反射光减弱镜片位于激光源与成像平面之间,用于改变由成像平面反射的反射光路,反射光减弱镜片被配置为使反射光路沿径向偏离光路传播方向。本实用新型能够减少反射回激光源的激光。
本实用新型一种激光光路系统在权利要求书中公布了:1.一种激光光路系统,其特征在于,包括激光源100、光学组件200和反射光减弱镜片300,其中,所述光学组件200用于对所述激光源100射出的激光进行整形;所述反射光减弱镜片300位于所述激光源100与成像平面400之间,用于改变由所述成像平面400反射的反射光路,所述反射光减弱镜片300被配置为使所述反射光路沿径向偏离光路传播方向。
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