福建睿创光电科技有限公司黄勇获国家专利权
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龙图腾网获悉福建睿创光电科技有限公司申请的专利一种辅助光栅曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224096123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521115039.8,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种辅助光栅曝光装置是由黄勇;吴祥优;林治树;陈济根;方琼;李广伟设计研发完成,并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种辅助光栅曝光装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种辅助光栅曝光装置,属于光栅曝光技术领域,包括底板,所述底板的外侧壁铰接有盖板,所述盖板远离底板的一侧固定连接有限位框,所述盖板的外侧壁转动连接有调节螺栓,所述调节螺栓的外侧壁螺纹连接有孔径光阑,所述孔径光阑远离盖板的一侧转动连接有转环,所述转环的外侧壁设置有金属片,所述金属片设置有若干个,若干个所述金属片均与转环连接,若干个所述金属片呈圆周阵列。该辅助光栅曝光装置,通过将样片放置在底板和盖板之间,转动转环调节金属片的位置,使多个金属片形成的通光孔径进行调节,可以根据不同尺寸的样片,来调节金属片形成的通光孔径,以便于满足不同尺寸样片的曝光需求。
本实用新型一种辅助光栅曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种辅助光栅曝光装置,包括底板1,其特征在于,所述底板1的外侧壁铰接有盖板5,所述盖板5远离底板1的一侧固定连接有限位框14,所述盖板5的外侧壁转动连接有调节螺栓10,所述调节螺栓10的外侧壁螺纹连接有孔径光阑11,所述孔径光阑11远离盖板5的一侧转动连接有转环12,所述转环12的外侧壁设置有金属片13。
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