中晟光电设备(上海)股份有限公司李瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉中晟光电设备(上海)股份有限公司申请的专利加热装置及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224092056U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520635664.9，技术领域涉及：C30B25/10；该实用新型加热装置及化学气相沉积设备是由李瑞;施广涛;胡启凡设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体外延生长技术领域，公开了加热装置及化学气相沉积设备。该加热装置用于加热衬底，具体包括外罩和支撑件。其中，外罩内部设有反应腔，衬底置于支撑件上，支撑件能自转，且支撑件的内部设有加热模块，加热模块通过感应加热方式工作，支撑件相对加热模块的内壁上环设有阶梯部，阶梯部具有多个阶梯面，多个阶梯面与加热模块的间隙不同，以使加热模块对衬底均匀加热。通过本实用新型，能够优化温度场，提升成膜的均匀性，保证成膜质量的稳定。
本实用新型加热装置及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.加热装置，用于加热衬底100，其特征在于，包括： 外罩1，所述外罩1内部设有反应腔11； 支撑件2，所述支撑件2位于所述反应腔11内，所述衬底100置于所述支撑件2上，所述支撑件2能自转，且所述支撑件2的内部设有加热模块21，所述加热模块21采用感应加热方式工作，所述支撑件2相对所述加热模块21的内壁上环设有阶梯部22，所述阶梯部22具有多个阶梯面221，多个所述阶梯面221与所述加热模块21的间隙不同，以使所述加热模块21对所述衬底100均匀加热。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中晟光电设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区川和路55弄张江人工智能岛21号楼3楼310-2；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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