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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利进流流道系统及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224091998U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520726440.9，技术领域涉及：C23C16/515；该实用新型进流流道系统及半导体加工设备是由沈康;涂乐义;梁洁;王兆祥;周正;李可;吴可学;董淑瑜设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本进流流道系统及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本公开提供进流流道系统及半导体加工设备。进流流道系统包括第一流道组件和第二流道组件，两种流道组件均分别包括：分支流道、与分支流道输出端连接的进流主流道、以及预出流流道；两个进流主流道分别连接反应腔进口；两个分支流道的输入端分别供通入用于反应的第一反应流体和第二反应流体；两个分支流道设置有质量流量控制器及分支阀；两个预出流流道均设有预出流阀；每个预出流流道两端分别连接在对应的质量流量控制器及分支阀之间以及连接抽吸流道，并设有预出流阀。基于该流道布局，可供利用阀门开关状态变化实现第一反应流体和第二反应流体的脉冲进气，解决相关技术中的问题。

本实用新型进流流道系统及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种进流流道系统，其特征在于，包括： 第一流道组件，包括：第一分支流道、与第一分支流道输出端连接的第一进流主流道、以及第一预出流流道；第一进流主流道连接反应腔进口；第一分支流道的输入端供通入用于反应的第一反应流体；第一分支流道从输入端向输出端依次设置有第一质量流量控制器及第一分支阀；所述第一预出流流道设有第一预出流阀；第一预出流流道的输入端连接在第一质量流量控制器及第一分支阀之间且输出端连接抽吸流道，并设有第一预出流阀； 第二流道组件，包括：第二分支流道、与第二分支流道的输出端连接的第二进流主流道、以及第二预出流流道；第二进流主流道连接反应腔进口；第二分支流道的输入端供通入用于与第一反应流体反应的第二反应流体；第二分支流道从输入端向输出端依次设置有第二质量流量控制器及第二分支阀；第二预出流流道的输入端连接在第二质量流量控制器及第二分支阀之间且输出端连接抽吸流道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海邦芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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