芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司刘东亮获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利一种晶圆处理设备的供气系统和晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224091993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520432639.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种晶圆处理设备的供气系统和晶圆处理设备是由刘东亮设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆处理设备的供气系统和晶圆处理设备在说明书摘要公布了：一种晶圆处理设备的供气系统和晶圆处理设备，晶圆处理设备包括至少一个用于容纳晶圆的反应腔，供气系统包括：用于储存反应气体的储气装置；以及，连接在储气装置与至少一个反应腔中的第一反应腔之间的连接管，其中，连接管上设置有用于加热通入连接管内的反应气体的加热装置、以及用于检测连接管的设定位置的温度以得到采样温度的温度检测装置；且连接管上还设置有控制阀，控制阀被配置为：在采样温度位于目标温度范围之外时，切换至关断状态，以使储气装置停止向第一反应腔供给反应气体。防止反应气体在管路中发生结晶形成结晶物，减少了复机时的维修工作量。
本实用新型一种晶圆处理设备的供气系统和晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理设备的供气系统，所述晶圆处理设备包括至少一个用于容纳晶圆的反应腔，其特征在于，所述供气系统包括： 用于储存反应气体的储气装置；以及， 连接在所述储气装置与至少一个所述反应腔中的第一反应腔之间的连接管，其中，所述连接管上设置有用于加热通入所述连接管内的所述反应气体的加热装置、以及用于检测所述连接管的设定位置的温度以得到采样温度的温度检测装置； 且所述连接管上还设置有控制阀，所述控制阀被配置为：在所述采样温度位于目标温度范围之外时，切换至关断状态，以使所述储气装置停止向所述第一反应腔供给所述反应气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312035 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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