芯联集成电路制造股份有限公司朱鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利镀锅装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224091983U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520683717.4，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型镀锅装置及镀膜设备是由朱鹏设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀锅装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种镀锅装置及镀膜设备，镀锅装置包括：基体、镀锅单元和遮挡单元；所述镀锅单元包括多个镀锅组件，所述镀锅组件设置于所述基体，各所述镀锅组件围绕一基准轴线设置；所述遮挡单元包括遮挡件，所述遮挡件设置于所述基体；绕所述基准轴线的周向方向，相邻所述镀锅组件之间的缝隙的至少一部分被至少一个所述遮挡件遮挡。该镀锅装置降低原材料的原子或分子的逃逸比例，有效提高材料利用率。
本实用新型镀锅装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种镀锅装置，其特征在于，包括：基体、镀锅单元和遮挡单元； 所述镀锅单元包括多个镀锅组件，所述镀锅组件设置于所述基体，各所述镀锅组件围绕一基准轴线设置； 所述遮挡单元包括遮挡件，所述遮挡件设置于所述基体； 绕所述基准轴线的周向方向，相邻所述镀锅组件之间的缝隙的至少一部分被至少一个所述遮挡件遮挡。
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