安徽见行科技有限公司李伟获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽见行科技有限公司申请的专利一种半导体制造用低频谐振型压电电机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121308585B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511888253.1，技术领域涉及：H02N2/00；该发明授权一种半导体制造用低频谐振型压电电机是由李伟;李明夏;曹龙轩;赵国锋;刁卫东;陈光征设计研发完成，并于2025-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制造用低频谐振型压电电机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体制造用低频谐振型压电电机，包括基座、预紧组件、移动部件，预紧组件和移动部件之间设置有压电电机定子；压电电机定子包括一个扩张型菱形位移放大器和两个收缩型菱形位移放大器，每个菱形位移放大器内嵌设有压电叠堆元件；两个收缩型菱形位移放大器的一侧动力输出端上分别固定设置有驱动足、另一侧的动力输出端分别通过柔性铰链与预紧组件的定位端连接。对三组压电叠堆施加特定的激励信号时，压电电机定子驱动两个驱动足产生放大的椭圆形位移轨迹，使其表面交替地与移动部件的侧面摩擦接触，从而能够以低频共振的形式驱动移动体沿预定方向实现高效的运动输出，具有位移放大效率高以及谐振频率较低等优点。
本发明授权一种半导体制造用低频谐振型压电电机在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造用低频谐振型压电电机，其特征在于：包括基座、固定设置于基座表面上的预紧组件、滑动设置于基座表面上的移动部件，所述预紧组件和移动部件之间设置有压电电机定子； 所述压电电机定子包括一个扩张型菱形位移放大器和位于该扩张型菱形位移放大器两侧的两个收缩型菱形位移放大器，扩张型菱形位移放大器的两个动力输出端分别与对应侧的收缩型菱形位移放大器固定连接，扩张型菱形位移放大器内部嵌设有纵向极化的压电叠堆元件，收缩型菱形位移放大器内部嵌设有横向极化的压电堆叠元件； 两个收缩型菱形位移放大器靠近移动部件一侧的动力输出端上分别固定设置有驱动足、远离移动部件一侧的动力输出端分别通过柔性铰链与预紧组件的定位端连接； 压电电机定子驱动两个驱动足进行椭圆运动，两个驱动足的表面交替地与移动部件的侧面摩擦接触，推动移动部件进行直线运动。
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