买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉常州高凯电子有限公司申请的专利基于阀门控制的真空系统稳压控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121254919B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511821622.5，技术领域涉及：G05D16/20；该发明授权基于阀门控制的真空系统稳压控制方法是由崔建松;虞小斌;陈步虎设计研发完成，并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于阀门控制的真空系统稳压控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及阀门控制领域，具体涉及一种基于阀门控制的真空系统稳压控制方法。真空系统包括腔室以及通过阀门连通腔室的真空泵，方法包括：步骤S1，基于腔室采样压力和目标压力，采用增量PID计算下一周期的目标阀门开度权重；步骤S2，根据预先标定的阀门开度与阀门开度权重之间的关系，获取目标阀门开度权重所对应的目标阀门开度；步骤S3，将阀门调节到目标阀门开度，返回步骤S1，直至将腔室当前压力调整至目标压力。本发明能够提高真空系统的腔室压力控制精度。

本发明授权基于阀门控制的真空系统稳压控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于阀门控制的真空系统稳压控制方法，真空系统包括腔室以及通过阀门连通腔室的真空泵，其特征在于， 方法包括： 步骤S1，基于腔室采样压力和目标压力，采用增量PID计算下一周期的目标阀门开度权重； 步骤S2，根据预先标定的阀门开度与阀门开度权重之间的关系，获取目标阀门开度权重所对应的目标阀门开度； 步骤S3，将阀门调节到目标阀门开度，返回步骤S1，直至将腔室当前压力调整至目标压力； 标定阀门开度与阀门开度权重之间的关系，具体包括： 记录多个阀门开度分别对应的真空腔室内的稳态压力； 阀门开度i所对应的阀门开度权重Ui=P0-Pi100P0-P100；其中， P0、Pi和P100分别为阀门开度为0度、i度和100度时的稳态压力；对于中间开度的权重由相邻两个阀门开度的权重线性插值获得； 采用增量PID计算下一周期的目标阀门开度权重；具体公式为： ； fpt+1=fpanglet+ΔPower; 式中，Kp、Ki和Kd分别为比例系数、积分系数和微分系数；为腔室内目标压力与第t次采样的压力的差值；为腔室内目标压力与第t-1次采样的压力的差值；为腔室内目标压力与第t-2次采样的压力的差值；为增量PID的输出；anglet和fpanglet为第t次采样的阀门实际开度和所对应的阀门开度权重；fpt+1为下一周期的目标阀门开度权重。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州高凯电子有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市武进区常武中路(520大道以西、纬四路以北)18-59号常州科教城高凯大厦4-5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。