中国科学院上海技术物理研究所王长浩获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121228347B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511804613.5，技术领域涉及：C30B19/06；该发明授权一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法是由王长浩;张娟;陈民;孙权志;魏彦锋设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法，属于半导体薄膜生长技术领域，该石墨舟主要包括：外壳、底板、滑块、活动块。其特点是：滑块滑动至衬底上方的生长位置时，活动块可以密封住母液槽保证外延薄膜的生长；当生长结束后，滑块继续滑动，并且带动活动块一起移动，打开母液槽，使得衬底一侧放空，保证残留母液可以从薄膜表面顺利排出，从而避免母液的残留，增大薄膜的可用面积。
本发明授权一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟及方法在权利要求书中公布了：1.一种防止母液残留的水平液相外延石墨舟，其特征在于，包括： 底板：开设有衬底槽和活动块槽； 滑块：设有母液槽，可沿底板滑动； L型活动块：其下部分嵌入活动块槽，所述活动块下部分高度等于活动块槽深度，活动块右下侧斜坡与活动块槽斜坡吻合，形成无泄漏接触面，右侧与衬底槽左侧紧密接触形成密封，活动块右侧水平段长度等于滑块在母液槽左侧的长度，所述活动块与滑块接触面为平面，滑动时通过摩擦力联动； 动态排液机制：滑块滑动至生长位置时活动块密封母液槽；生长结束后滑块继续滑动并带动活动块移动，打开衬底槽与活动块槽的通道，使残留母液经重力排入活动块槽。
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