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龙图腾网获悉安徽纬科材料科技有限公司申请的专利一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121228184B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511798583.1，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法是由孔伟华;屈董;卢燕设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法，包括热加工、冷轧、退火处理及表面处理。通过多道次横向和纵向轧制结合快速冷却，破碎铝锭粗大柱状晶，诱发动态再结晶并抑制二次粗化，形成内部致密铝板坯；冷轧与中间退火引入高密度位错网络，增强静态再结晶驱动力；双向温度梯度退火实现晶粒细小均匀分布，提升组织均一性；表面处理确保平滑表面和去除杂质。方法显著提高靶材机械强度、均匀性及缺陷控制，满足大规格铝平面靶在超大型显示器制造中的高性能需求，优化溅射效率和膜厚一致性，具备显著的经济效益和产业应用前景。

本发明授权一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种细晶高纯大规格铝平面靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1.热加工：将纯度不低于99.999%的铝锭置于箱式电阻炉中，以200-450℃保温2-4h，先对铝锭进行多道次横向轧制，道次加工率2%-10%，物料换向后进行多道次纵向轧制，道次加工率10%-40%，随后快速冷却，得到内部致密且组织均匀的铝板坯； 步骤S2.冷轧：在冷轧机上对所述铝板坯进行轧制，加工压缩率为15-40%，得到规格尺寸为宽度1000-2000mm、长度1-3m、厚度10-30mm的冷轧铝板；在步骤S2中，所述冷轧过程分多道次进行，每道次压缩率不超过15%，并在道次间施加中间退火，所述中间退火温度为150-250℃，保温时间为0.5-2h； 步骤S3.退火处理：将所述冷轧铝板置于退火装置中，在板体两端分别施加不同温度，使一端保持在350-500℃，另一端保持在50-300℃，在轴向形成温度梯度为1.5-3℃mm的双向温度梯度场，保温1-4h后随炉冷却，得到晶粒细小且均匀的铝板；在步骤S3中，所述双向温度梯度场的形成通过在高温端施加辅助加热源和在低温端施加冷却介质实现，保温时间为2-3h。

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