辰瓴半导体(嘉兴)有限公司夏玉龙获国家专利权
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龙图腾网获悉辰瓴半导体(嘉兴)有限公司申请的专利一种光刻机的误差补偿系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120891703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511161621.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机的误差补偿系统是由夏玉龙;夏菁设计研发完成，并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机的误差补偿系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光刻机的误差补偿系统，涉及光刻机误差补偿技术领域，其包括设于光刻机上的承载台、掩模板、处理器，所述承载台的上表面沿圆周方向间隔且对称设置有若干楔块、线性制动器，所述线性制动器与所述承载台固定连接，所述楔块沿靠近或远离对称轴线的方向，与所述承载台活动连接，并可驱使所述楔块活动；所述楔块的上表面倾斜开设有倾斜面，所有所述楔块的倾斜面共同支撑有活动台，所述承载台的上表面同轴设置有基准环，所述基准环位于掩模板的下方，所述基准环上沿圆周方向间隔且对称设置有若干第一电容传感器，所述第一电容传感器用于检测与掩模板之间的距离。本申请具有保证套刻时掩模板与硅片表面平行度，以提高芯片的良率的效果。
本发明授权一种光刻机的误差补偿系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机的误差补偿系统，包括设于光刻机上的承载台1、掩模板4、处理器，其特征在于：所述承载台1的上表面沿圆周方向间隔且对称设置有若干楔块11、线性制动器12，所述线性制动器12与所述承载台1固定连接，所述楔块11沿靠近或远离对称轴线的方向，与所述承载台1活动连接，所述线性制动器12与所述楔块11一一对应，并可驱使所述楔块11活动；所述楔块11的上表面倾斜开设有倾斜面111，所有所述楔块11的倾斜面111共同支撑有活动台2，且所述活动台2周壁的下边沿与所述倾斜面111相抵，所述活动台2用于承载硅片5；所述承载台1的上表面同轴设置有基准环21，所述基准环21位于所述掩模板4的下方，所述基准环21上沿圆周方向间隔且对称设置有若干第一电容传感器231，所述第一电容传感器231用于检测与掩模板4之间的距离，所述第一电容传感器231、所述线性制动器12均与所述处理器电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人辰瓴半导体(嘉兴)有限公司，其通讯地址为：314031 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1185号秀水光谷园区1幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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