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坚石(山东)真空科技有限公司郑祥嵘获国家专利权

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龙图腾网获悉坚石(山东)真空科技有限公司申请的专利一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120850819B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511357422.9,技术领域涉及:G06F30/27;该发明授权一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统是由郑祥嵘;卢玉金设计研发完成,并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统在说明书摘要公布了:本发明的一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统,属于数据处理技术领域,包括数据采集单元,用于整合实时高频数据、工艺参数数据以及设备静态信息;隐藏状态估计单元,用于依据数据采集单元采集的实时高频数据,估计表征泵内部件材料性能退化的隐藏状态变量,并生成等效沉积层厚度;动态裕度衰减预测单元,用于依据隐藏状态估计单元生成的等效沉积层厚度,并结合数据采集单元采集的工艺参数数据,预测核心性能裕度的衰减轨迹,并生成动态抗冲击裕度预测曲线,本发明极大地提升了状态感知的准确性与鲁棒性,为后续的精准预测奠定了坚实基础。

本发明授权一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统在权利要求书中公布了:1.一种基于大数据的螺杆真空泵运行数据分析系统,其特征在于,包括: 数据采集单元,用于整合实时高频数据、工艺参数数据以及设备静态信息; 隐藏状态估计单元,用于依据数据采集单元采集的实时高频数据,估计表征泵内部件材料性能退化的隐藏状态变量,并生成等效沉积层厚度; 动态裕度衰减预测单元,用于依据隐藏状态估计单元生成的等效沉积层厚度,并结合数据采集单元采集的工艺参数数据,预测核心性能裕度的衰减轨迹,并生成动态抗冲击裕度预测曲线; 功能性失效风险量化单元,用于依据动态裕度衰减预测单元生成的动态抗冲击裕度预测曲线,量化失效风险概率,并生成功能性失效风险曲线; 决策支持输出单元,用于依据功能性失效风险量化单元生成的功能性失效风险曲线,在功能性失效风险曲线中任意时间点的失效风险值超过预设警告阈值时,触发预警,并生成操作指令; 所述隐藏状态估计单元具体用于: 依据实时高频数据中包含的转速数据与进出口压力数据,并结合预设的泵送机理模型,计算参考功耗; 获取实时高频数据中包含的实际测量电机功耗; 将实际测量电机功耗与参考功耗进行比较,生成功耗残差; 所述隐藏状态估计单元还用于: 将功耗残差作为输入,并采用预设的离散时间形式的一阶线性滤波器,对前一时刻的等效沉积层厚度进行修正,以生成当前时刻的等效沉积层厚度; 等效沉积层厚度的计算逻辑如下: ; 其中,:当前时刻的等效沉积层厚度估计值,其数据类型为长度,由本步骤计算得到;:前一时刻的等效沉积层厚度估计值,数据类型为长度,来源于本单元上一计算周期的输出;:状态更新增益系数;:当前时刻的功耗残差;:物理系数,通过CFD仿真或对历史数据进行回归分析获取; 计算等效沉积层厚度的历史估计轨迹与通过离线实验或高级分析获得的实际历史轨迹之间的长期预测误差,采用均方根误差: ; 其中,:均方根误差;:历史数据点的总数量;:利用模型计算出的等效沉积层厚度的历史估计轨迹;:通过离线实验或高级分析获得的实际历史轨迹; 通过迭代调整的值,使得最小化,直至收敛; 所述动态裕度衰减预测单元还用于: 基于当前由隐藏状态估计单元生成的等效沉积层厚度,并结合归一化工艺载荷强度,通过求解预设的一阶动态模型,预测并生成等效沉积层厚度在未来的演化轨迹; 计算方式如下: ; 其中,:未来时刻的归一化工艺载荷强度,数据类型为无量纲浮点数,由本公式计算得到;:第i个工艺参数的权重系数,数据类型为无量纲浮点数且总和为1;:参与计算的关键工艺参数数量;:第i个工艺参数在未来时刻的计划值;:第i个工艺参数在所有历史工艺中的最大值;:未来时刻; 所述动态裕度衰减预测单元还用于: 将等效沉积层厚度在未来的演化轨迹与归一化工艺载荷强度,代入预设的裕度衰减模型,计算并生成动态抗冲击裕度预测曲线。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人坚石(山东)真空科技有限公司,其通讯地址为:261000 山东省潍坊市经济开发区清源街7997号办公楼3楼301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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