北京华卓精科科技股份有限公司焦健获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利气浴装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115682922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211124975.6，技术领域涉及：G01B9/02001；该发明授权气浴装置是由焦健;付大为;李怀斌设计研发完成，并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浴装置在说明书摘要公布了：本发明属于光刻机技术领域，尤其涉及一种气浴装置。本发明的气浴装置，包括：气液热交换单元和整流喷射单元，气液热交换单元的底面与散热部件的表面贴合，气液热交换单元与整流喷射单元相连，以将经过热交换的气体输入整流喷射单元，整流喷射单元能够喷射两层流速不同的气墙，以包络光学部件的光路区域。本发明的气浴装置，通过气液热交换单元与整流喷射单元的配合，可在光学部件的光路区域周围形成具有超高的温度稳定性及均匀性的双层“气墙”，保证测量系统的测量精度。
本发明授权气浴装置在权利要求书中公布了：1.一种气浴装置，其特征在于，包括：气液热交换单元和整流喷射单元， 所述气液热交换单元的底面与散热部件的表面贴合，以使输入至所述气液热交换单元中的气体与散热部件内的换热液体进行热交换， 所述气液热交换单元与所述整流喷射单元相连，以将经过热交换的气体输入所述整流喷射单元，所述气液热交换单元内设置有均匀密布的多条微换热流道； 所述整流喷射单元能够喷射两层流速不同的气墙，以包络光学部件的光路区域； 其中，所述整流喷射单元的第一面上设置有用于容纳所述光学部件的安装区域，围绕所述安装区域的外周从内至外依次设置有第一喷射口和第二喷射口， 所述第一喷射口和所述第二喷射口分别以不同的流速喷射气体，从而在所述光学部件的光路区域的周围形成两层流速不同的气墙。
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