应用材料公司迈克尔·于-泰克·扬获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利制造波导组合器的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115663442B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211223884.8，技术领域涉及：H01P11/00；该发明授权制造波导组合器的方法是由迈克尔·于-泰克·扬;韦恩·麦克米兰;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;罗伯特·简·维瑟设计研发完成，并于2018-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造波导组合器的方法在说明书摘要公布了：本文所描述的实施方式涉及用于制造波导组合器的方法。所述方法提供波导组合器，所述波导组合器具有限定精细光栅的由无机或混合有机和无机材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域。在一个实施方式中，由压印印模形成波导结构，所述压印印模在设置在基板的表面上的抗蚀剂上具有正波导图案以形成负波导结构。将所述无机或混合材料沉积在所述基板上并然后移除所述抗蚀剂以形成具有与由无机或混合有机和无机材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域中的至少一个相对应的区域的波导结构。
本发明授权制造波导组合器的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造波导结构的方法，包括： 将印模压印到抗蚀剂中，所述印模具有：具有多个成角度印模结构的正波导图案，所述压印形成负波导结构，所述负波导结构包括具有残留层且包含多个反光栅的区域，所述抗蚀剂设置在基板的一部分的表面上，所述基板具有第一折射率，并且对应于所述成角度印模结构的所述多个反光栅的每个反光栅的侧壁表面的一部分相对于所述基板的所述表面不垂直而成角度； 固化在所述基板的所述表面上的所述抗蚀剂； 释放所述印模； 移除所述残留层； 沉积具有第二折射率的涂层，所述第二折射率匹配或大于所述基板的所述表面的所述第一折射率；以及 形成波导结构，所述波导结构包括具有多个光栅的区域，其中所述多个光栅的每个光栅具有相对于所述基板的所述表面不垂直而成角度的侧壁表面，其中所述涂层包括含碳氧化硅SiOC材料、含钒IV氧化物VOx材料、含氧化铝Al2O3材料、含氧化锌ZnO材料、含氮化硅Si3N4材料、含氮化钛TiN材料以及含二氧化锆ZrO2材料中的至少一种，并且所述波导结构包括所述基板和所述涂层的材料。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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