上海微电子装备(集团)股份有限公司张谋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115616863B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110803443.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备是由张谋;彭云平设计研发完成，并于2021-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备，应用于半导体制造领域。该镜片调整装置，包括：可动镜组模块，包括：镜筒、镜座及定心单元，镜座通过定心单元设置在镜筒上；若干位置调整模块，均沿镜筒周向设置，且每个位置调整模块包括驱动单元和传动结构，传动结构设置有柔性传动杆、柔性传动块和悬臂结构，悬臂结构设置在柔性传动块侧壁上且悬臂结构的上表面与镜座连接。本发明通过在悬臂结构的上表面连接镜座，可消除点面接触的摩擦力，并将驱动单元、传动结构和镜座连接为一体，可提高镜片调整装置的模态，以及可解决驱动单元和传动结构固定连接时驱动单元不易维护的问题。
本发明授权镜片调整装置、可调式光学系统和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种镜片调整装置，其特征在于，包括： 可动镜组模块，包括：镜筒、镜座及定心单元，所述镜座通过所述定心单元设置在所述镜筒上； 若干位置调整模块，均沿所述镜筒周向设置，且每个所述位置调整模块包括驱动单元和传动结构，所述传动结构设置有柔性传动杆、柔性传动块和悬臂结构，所述柔性传动杆的一端与所述驱动单元固定连接，以使所述驱动单元与所述传动结构形成一体化结构，所述悬臂结构设置在所述柔性传动块侧壁上，且所述悬臂结构的上表面与所述镜座固定连接，以将所述驱动单元、所述传动结构和所述镜座连接为一体； 所述驱动单元驱动所述柔性传动杆前后运动，并带动设置在所述柔性传动块侧壁上的悬臂结构沿光轴方向运动，以对所述镜座的位置进行调整。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励