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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利形状测量方法、形状测量装置、及程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115615368B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111464059.2，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权形状测量方法、形状测量装置、及程序是由萩原一希设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本形状测量方法、形状测量装置、及程序在说明书摘要公布了：本发明的实施方式涉及一种形状测量方法、形状测量装置、及程序。实施方式的形状测量方法中，通过第1拟合处理来计算第1参数群中所包含的参数的收敛值，所述第1拟合处理使用了散射强度曲线及第1推想散射强度曲线，所述散射强度曲线与照射在具有特定图案的衬底上的电磁波的散射强度有关，所述第1推想散射强度曲线与对第1虚拟构造进行第1模拟而算出的散射强度有关，其中第1虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第1参数群而构成。通过第2拟合处理来计算第2参数群中所包含的参数的收敛值，所述第2拟合处理使用了散射强度曲线及第2推想散射强度曲线，所述第2推想散射强度曲线与对第2虚拟构造进行第2模拟而算出的散射强度有关，其中第2虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第2参数群而构成且重点参数中收敛值被设定为常数。

本发明授权形状测量方法、形状测量装置、及程序在权利要求书中公布了：1.一种形状测量方法，包含如下步骤：获取散射强度曲线，所述散射强度曲线与从第1装置照射到具有特定图案的衬底的电磁波的散射强度有关；获取第1推想散射强度曲线，所述第1推想散射强度曲线与对第1虚拟构造进行第1模拟而算出的散射强度有关，所述第1虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第1参数群而构成；通过使用所述散射强度曲线与所述第1推想散射强度曲线进行的第1拟合处理，来计算所述第1参数群中所包含的参数的收敛值；获取第2推想散射强度曲线，所述第2推想散射强度曲线与对第2虚拟构造进行第2模拟而算出的散射强度有关，所述第2虚拟构造是基于由包含所述重点参数在内的多个参数所组成的第2参数群而构成，且所述重点参数中所述收敛值被设定为常数；及通过使用所述散射强度曲线与所述第2推想散射强度曲线进行的第2拟合处理，来计算所述第2参数群中所包含的参数的收敛值。

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