武汉大学吴国强获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115580260B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211292419.X，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法是由吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿设计研发完成，并于2022-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于微机械谐振器技术领域，公开了一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法，该谐振器结构包括微加热腔和谐振振子，并关于谐振振子晶向夹角的角平分线对称，本发明利用具有不同晶向的谐振振子的频率偏移‑温度曲线的差异进行频率测温，从而能够实现更高精度的恒温控制功能，能够提高谐振器的频率稳定性。
本发明授权一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法在权利要求书中公布了：1.一种恒温控制微机械谐振器，其特征在于：包括：微加热腔和谐振振子：所述微加热腔包括恒温控制模块、驱动检测模块和连接模块；所述谐振振子包括时钟输出谐振振子和温度传感谐振振子； 所述恒温控制模块包括微加热梁、隔热框、支撑锚点、内支撑梁、加热电极和电阻测温电极；所述驱动检测模块包括驱动检测电极；所述连接模块包括衬底硅片和至少四个固定锚点； 所述时钟输出谐振振子和所述温度传感谐振振子均位于所述隔热框的内部，并分别通过所述支撑锚点、所述内支撑梁与所述隔热框直接相连；所述隔热框与所述固定锚点之间通过所述微加热梁连接；所述时钟输出谐振振子、所述温度传感谐振振子、所述隔热框和所述微加热梁均悬空在所述衬底硅片的上方，并通过所述固定锚点与所述衬底硅片相连；所述驱动检测电极、所述加热电极、所述电阻测温电极均位于所述固定锚点上； 所述时钟输出谐振振子和所述温度传感谐振振子沿不同晶向布置，所述恒温控制微机械谐振器关于所述时钟输出谐振振子和所述温度传感谐振振子形成的晶向夹角的角平分线对称。
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