麦斯塔微电子(深圳)有限公司雷永庆获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯塔微电子(深圳)有限公司申请的专利微机电系统电极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115514339B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211068150.7，技术领域涉及：H03H9/125；该发明授权微机电系统电极是由雷永庆;周俊;谢国伟设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统电极在说明书摘要公布了：本申请公开了一种微机电系统电极，属于微观机械系统技术领域。微机电系统电极包括主体，所述主体具有容置微机电系统中谐振子的容置空间，所述主体还具有至少一贯通的通孔，所述通孔设置在所述容置空间的周围，且所述通孔的延伸方向与所述容置空间的延伸方向相同。本申请所提供的微机电系统电极，通过在电极主体设置贯穿的通孔，从而可减小主体表面的对地面积，进而降低主体表面处的对地电容。
本发明授权微机电系统电极在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统电极，其包括主体，所述主体具有容置微机电系统中谐振子的容置空间，其特征在于，所述主体还具有至少一贯通的通孔，所述通孔设置在所述容置空间的周围，且所述通孔的延伸方向与所述容置空间的延伸方向相同； 所述主体包括连接部以及分别与所述连接部连接的第一延伸部及第二延伸部，所述第一延伸部与所述第二延伸部间隔对置，所述连接部与所述第一延伸部、所述第二延伸部围设形成所述容置空间；所述连接部、所述第一延伸部、所述第二延伸部中的至少一者上设置有所述通孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦斯塔微电子(深圳)有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园1栋401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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