华天慧创科技(西安)有限公司刘守航获国家专利权
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龙图腾网获悉华天慧创科技(西安)有限公司申请的专利一种预留芯片线路引脚的正面压印方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115421353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211158451.9,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种预留芯片线路引脚的正面压印方法是由刘守航;侯洋坤设计研发完成,并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种预留芯片线路引脚的正面压印方法在说明书摘要公布了:本发明属于本发明属于纳米压印领域,具体涉及一种预留芯片线路引脚的正面压印方法。通过变更压印图案印章玻璃基底以及胶水,完成在芯片整面晶圆上直接压印,且通过后续工艺将芯片线路引脚给开出来,保证芯片切割后可以正常使用。
本发明授权一种预留芯片线路引脚的正面压印方法在权利要求书中公布了:1.一种预留芯片线路引脚的正面压印方法,其特征在于,包括如下步骤: 第一步:在透明玻璃基底上进行光刻工艺,将保护芯片线路引脚图案在透明的玻璃基底上做出来,得到带有保护芯片线路引脚图案的玻璃基底; 第二步:在带有保护芯片线路引脚图案的玻璃基底上进行压印图案印章制作,得到带有透镜图案的玻璃基底; 第三步:使用胶水在芯片晶圆上点胶; 所述胶水选择HR3301OpticalRESIN溶剂; 第四步:用带有透镜图案的玻璃基底下压芯片晶圆上的胶水,使胶水填充图案区域,完成面型压印; 第五步:将完成面型压印的产品在UV光源下进行紫外固化; 被带有透镜图案的玻璃基底保护的部分没有被UV光源照到,胶水没有完全聚合反应;未被带有透镜图案的玻璃基底保护的地方被UV光源照到,胶水形成透镜; 第六步:将带有透镜图案的玻璃基底与压印完成后的透镜进行分离,分离剩余的部分即为带有透镜的芯片; 第七步:显影,得到预留有线路引脚的芯片。
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