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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115410887B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111570847.X，技术领域涉及：H01J37/075；该发明授权用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜是由田源;杨冬;李中文;李俊;田焕芳;杨槐馨;李建奇设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽；主体的侧壁上具有第一窗口，底壁上具有与栅极帽孔相对布置的第一出射孔或通道，阳极帽布置在第一出射孔上；激光引入装置包括：布置在主体内的反射组件；反光装置，反光装置布置在阳极帽顶面以朝向栅极帽，反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被反光装置反射以穿过栅极帽孔照射电子枪灯丝。根据本声明的激光引入装置能够将超快光源以更佳入射角度引入现有扫描电镜并消除电场畸变，具有更低的成本和更高的探测性能和适用范围。

本发明授权用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜在权利要求书中公布了：1.一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中所述电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体的内侧顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽，其中所述主体的侧壁上具有第一窗口，所述主体的底壁上具有与所述栅极帽孔相对布置的第一出射孔，所述阳极帽布置在所述第一出射孔上，其特征在于，所述激光引入装置包括： 布置在空腔主体内的反射组件； 反光装置，所述反光装置布置在阳极帽顶面以朝向栅极帽， 其中所述反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被所述反光装置反射以穿过栅极帽孔照射电子枪灯丝； 所述反射组件包括： 具有相对平行的旋转轴线的第一反射镜和第二反射镜，以及承载镜托组件，其将所述第一反射镜和所述第二反射镜相对地间隔布置； 至少一个配合镜托组件，所述至少一个配合镜托组件与所述承载镜托组件具有相同的形状和材质，并且与所述承载镜托组件相对分散地布置在所述阳极帽周围的底壁上； 所述至少一个配合镜托组件和所述承载镜托组件的布置位置相对于所述栅极帽孔指向第一出射孔的轴线方向是轴对称的。

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