细美事有限公司宋修汉获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利支承单元及基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115206835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210348945.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权支承单元及基板处理设备是由宋修汉;金喆求;崔重奉;尹嫝燮设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本支承单元及基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种支承单元及基板处理设备。支承基板的该支承单元可以包括：卡盘台，该卡盘台能够旋转；加热构件，该加热构件配置于该卡盘台上方且加热由该支承单元支承的该基板；电源，该电源向该加热构件施加电力；窗口，该窗口配置于该卡盘台上方且界定内部空间，该加热构件配置于该内部空间中；及互锁模块，该互锁模块选择性地切断向该加热构件施加的电力。
本发明授权支承单元及基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种支承基板的支承单元，所述支承单元包含： 卡盘台，所述卡盘台能够旋转； 加热构件，所述加热构件配置于所述卡盘台上方、且配置为加热由所述支承单元支承的所述基板； 反射板，所述反射板配置于所述加热构件下方； 冷却板，所述冷却板配置于所述反射板下方； 支承构件，所述支承构件经配置成当从顶部观察时与形成于所述反射板中的开口重叠且配置于所述冷却板上方； 电源，所述电源配置为向所述加热构件施加电力； 窗口，所述窗口配置于所述卡盘台上方、且界定内部空间，在所述内部空间中配置有所述加热构件；以及 互锁模块，所述互锁模块配置为选择性地切断向所述加热构件施加的所述电力； 其中，所述互锁模块包括： 切断构件，所述切断构件配置为根据所述内部空间的温度的变化通过打开由所述电源及所述加热构件所设置的闭合电路，来切断从所述电源递送至所述加热构件的所述电力；并且 其中，所述切断构件安装于所述支承构件中。
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