株式会社日立高新技术沼田由起获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114709120B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210355239.5，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法是由沼田由起;佐藤博文;川俣茂设计研发完成，并于2017-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法，对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示到观察辅助画面。
本发明授权电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法在权利要求书中公布了：1.一种电荷粒子线装置，其特征在于， 上述电荷粒子线装置具备： 试料台，其载置试料； 电荷粒子光学系统，其向上述试料照射电荷粒子束； 检测器，其检测因上述电荷粒子束与上述试料的相互作用而产生的电子； 控制部，其根据由操作者设定的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统，并根据来自上述检测器的检测信号来形成图像；以及 显示器，其显示用于设定上述观察条件的观察辅助画面， 上述控制部将与在上述观察条件下通过上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子数有关的信息显示于上述观察辅助画面。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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