华为技术有限公司张宇获国家专利权
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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利图案化材料和图案化薄膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114063389B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010761964.3，技术领域涉及：G03F7/075；该发明授权图案化材料和图案化薄膜是由张宇;曾志雄;周慧慧设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案化材料和图案化薄膜在说明书摘要公布了：本申请提供一种图案化材料，包括聚硅氧烷，所述聚硅氧烷包括至少一个由Si‑O键重复构成的环状结构和连接在所述环状结构中的Si原子上的有机基团；其中，至少一个所述环状结构中的部分Si原子被金属元素取代，和或至少一个所述有机基团包含卤族元素。本申请图案化材料在1nm～15nmX射线照射下，具有高敏感性、高图案分辨率，可实现高质量、高效率图案化工艺。将本申请图案化材料用于芯片等电子元器件的制备，可提高电子元器件精度和制备效率。本申请还提供了采用该图案化材料形成的图案化薄膜。
本发明授权图案化材料和图案化薄膜在权利要求书中公布了：1.一种图案化材料，其特征在于，包括聚硅氧烷，所述聚硅氧烷包括至少一个由Si-O键重复构成的环状结构和连接在所述环状结构中的Si原子上的有机基团；其中，至少一个所述有机基团为对氟苯乙烯基团。
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